快速退火爐是利用鹵素紅外燈做為熱源，通過極快的升溫速率，將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃，從而消除晶圓或者材料內部的一些缺陷，改善產品性能。快速退火爐采用先進的微電腦控制系統，采用PID閉環控制溫度，可以達到*的控溫精度和溫度均勻性，并且可配置真空腔體，也可根據用戶工藝需求配置多路氣體。快速退火爐主要由真空腔室、加熱室、進氣系統、真空系統、溫度控制系統、氣冷系統、水冷系統等幾部分組成。真空腔室：真空腔室是快速退火爐的工作空間，晶圓在這里進行快速熱處理。加熱室：加...

1.電爐不需特殊安裝,只需平放在室內地面或臺架上。應放在工作臺上,工作臺面的傾斜度不得超過5度.控制器離電爐最小距離不得少于0.5米.控制器不宜放在電爐上面,以免影響控制器正常工作.2.與控制器及電爐相連的電源線,開關及熔斷器的負載能力應稍大于電爐的額定功率.3.接線時,首先轉松控制器外殼左右兩側的螺釘,然后將罩殼上翻,按圖示接好電源線.控制器與電爐的連線及熱電偶連接線(最好使用補償導線).將熱電偶從熱電偶固定座的小孔中插入爐膛,孔與熱電之間間隙用石棉繩堵塞,然后固定.(注意...

晶體生長是用一定的方法和技術，使單晶體由液態或氣態結晶成長。由液態結晶又可以分成熔體生長或溶液生長兩大類。熔體生長法又分為有直拉法、坩堝下降法、區熔法、焰熔法（又稱維爾納葉法）等直拉法此法是由熔體生長單晶的一項最主要的方法，適用于大尺寸晶體的批量生產。被加熱的坩堝中盛著熔融的料，籽晶桿帶著籽晶由上而下插入熔體，由于固液界面附近的熔體維持一定的過冷度、熔體沿籽晶結晶，并隨籽晶的逐漸上升而生長成棒狀單晶。坩堝可以由高頻感應或電阻加熱。半導體鍺、硅、氧化物單晶如釔鋁石榴石、釓鎵石榴...

電弧煉鋼爐以電能為主要能源。電能通過石墨電極與爐料放電拉弧，產生高達2000~6000℃以上的高溫，以電弧輻射、溫度對流和熱傳導的方式將廢鋼原料熔化。在爐料熔化時的大部分時間里，高溫熱源被爐料所包圍，高溫廢氣造成的熱損失相對較少，因此熱效率高于轉爐等其他煉鋼設備。此外，電加熱容易精確地控制爐溫，可以根據工藝要求在氧化氣氛或還原氣氛、常壓或真空等任何條件下進行加熱操作。電弧爐煉鋼工藝流程短，設備簡單，操作方便，比較易于控制污染，建設投資少，占地面積小，不需要像轉爐煉鋼那樣必須依...

1．中頻電源、真空爐爐體、感應圈之冷卻水源——蓄水池之水必須充滿，水中不得有雜質。2．開動水泵，使其中頻電源，真空爐感應圈、爐體冷卻系統水循環正常，并調整水壓控制在規定值。3．檢查真空泵電源系統，皮帶盤皮帶松緊，真空泵油是否位于油封觀察孔中線。檢查妥后，人工轉動真空泵皮帶盤，如無異常，可在關閉蝶閥的情況下，啟動真空泵。4．檢查真空爐體內情況，要求真空爐體內一級衛生，感應圈絕緣良好，密封真空膠帶具有彈性，尺寸合格。5．檢查真空爐體的杠桿手把啟動是否靈活。6．檢查轉動式麥氏真空計...